处理后超纯水水质，电阻率≥16MΩ•cm。

采用美国西门子EDI，全自动控制。满足触摸屏超声波清洗要求。 

EDI（Electrodeionization）是一种具有革命性意义的水处理技术，它巧妙地将电渗析技术和离子交换技术相融合，无需酸碱，而能连续制取高品质的纯水。它具有技术先进、操作简便、良好的环保特性，代表着一种行业方向。它的出现是水处理技术的一次革命性的进步，标志着水处理工业最终全面跨入绿色产业的行列。EDI装置由增压泵、电去离子（EDI）膜块、直流稳压电源、流量计、仪表等组成。合格的RO产水经增压泵增压进入EDI系统，EDI膜堆中混合离子交换树脂将不断的去除原水中的阴、阳离子，而通过膜堆电流将在阴膜和阳膜附近的水分子使之产生氢离子和氢氧根离子，电离的氢离子和氢氧根离子将再生混合离子交换树脂，同时交换下来的阴、阳离子经过反扩散分别由阴膜和阳膜进入浓水，部分浓水回流以保持浓水电导率，另一部分浓水和极水则连续排入地沟。电再生过程使EDI系统既不需要停机也不需要传统的再生设备就能实现持续生产高质量的去离子水。
EDI是离子交换领域最前沿的技术也是一项绿色技术，使用时不需要化学药剂再生，和传统的需要化学药剂再生的离子交换相比其运行成本显著降低。同时EDI可以连续运行，操作更简便。
工作状态下，流经EDI单元的水中的盐离子发生三种迁移：
1. 离子与阴、阳树脂发生离子交换而结合到树脂颗粒上；
2. 离子在电场作用下经树脂颗粒构成的离子通道迁移；
3. 离子经过离子交换膜迁移到浓水室，从而完成水的脱盐过程；在一定的电流密度下，树脂、膜、水之间的界面处因产生浓差极化而迫使水分解成H+和OH－，从而同时再生了树脂。
EDI可代替传统的混合离子交换技术（MB-DI）生产稳定的去离子水。EDI技术与混合离子交换技术相比有如下优点：
①水质稳定；　②容易实现全自动控制；　③不会因再生而停机；  ④不需化学再生；  ⑤运行费用低；　⑥厂房面积小；  ⑦无污水排放。
原水采用市政自来水，一级处理工艺为砂碳技术，去除悬浮物颗粒；二级处理工艺为反渗透工艺；三级处理工艺为EDI系统和精混系统。​