应用领域
◆
适用于精确测质量较大的物体例如：透镜、面具、车床的卡盘、机床等；
推荐控制器
NM3110
主要特点
>15微米运动范围，高于纳米级分辨率；
振荡频率>8KHZ；
0.005%磁滞、线性度；
高带宽(>1KHz)响应时间短；
现场扫描最优化；
高稳定性；
特殊钢材外壳；
推荐产品
技术规格安装尺寸
参数
符号
值
单位
备注
静态参数
最小
标准
最大
材质
特种不胀钢
尺寸
53.5（长）x 60（直径）
mm
线缆长度
1000
*范围
dzp·max
±0.8
um
①
*比例因子
Bz1
1
②
*比例因子误差
δbz1
0.05
0.1
%
共振频率（空载）
f0·0
8000
HZ
最大负载
15
kg
动态参数
快
中
慢
*位置嗓音
δZp·n
0.2
0.3
nm
③
转换速率
Uzp·max
um/ms
④
误差
*磁滞（峰峰值）
δzp·hyst
0.02
0.03
⑤
*线性度（峰值）
δzp·lin
0.01
⑥
注意：
*这些参数由各转换器实测并提供的。
②、这是测量值与实际值之间的差别。
③、实际的位置嗓音。
④、变换位置的最大速率，这受闭环参数的限制。
⑤、位移的百分比，意思是位移为1um则磁滞小于0.1nm。
⑥、线性误差为满量程的百分比。
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技术规格安装尺寸
