应用领域

对于轮廓测定来说，NLS13自动对焦传感器是一种非常优越的测量解决方案，具有卓越的保真度，可靠的测量结果，适应广泛的应用，包括柔软或敏感表面。适用于厚膜测量和混合动力汽车，光学，通信，电子工程，电子行业材料试验等领域；摩擦学，机械工程（平整度，波纹度，粗糙度）和IC封装（翘曲，共面，凸块高度和体积）等。

主要特点

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纳米级分辨率；

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适用于柔软和敏感的物体表面测量（镜面和光滑表面）；

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坚固耐用，使用寿命长；

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振动分析；

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传感器可进行自动对焦；

传感器

NLS13纳米级位移计

量程mm

1.5

分辨率 nm

10

线性度

   ≤ 0.2um

重复性nm

≤ 10

测量间隙mm

2.0

光源卤素灯W

 780nm半导体激光二极管

光斑直径µm

1.9um

测量垂直度º

90±25

响应Hz

16～10K

输出

数据接RS232

重量g

探头约5000，控制器约4000