NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。由Super Invar（特殊钢材）制成，高于纳米级分辨率和重复性。

概述

NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到最小，在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有优秀的力学平衡设计。

应用领域

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高精度显微镜；

推荐控制器

NM3220

主要特点

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>100微米运动范围，高于纳米级分辨率；

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振荡频率>350HZ；

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0.005%磁滞、线性度；

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高带宽(>50Hz)响应时间短；

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现场扫描最优化；

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需要与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H组成三轴系统；

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NM-XY-100A为特殊钢材外壳；NM-XY-100B为铝质外壳；