标定板材料：有机玻璃，石英玻璃，；
尺寸：600mm×800mm；
厚度：1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm等，误差±0.2mm；
光学密度（λ=450nm）：空位3.0±0.3，镀位±0.3；
反射率（λ=450nm）：空位10±5%，镀位±2%；

标定板精度概述 
总长精度：±3.0μm；
图形尺寸精度：±1.0μm ～ ±3.0μm； 
图形位置精度：±1.0μm ～ ±3.0μm；
线条精度：±1μm； 
缝宽均匀度：≤1μm；