LF-400

       SERIES (高精度型)​

概要                                

LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。

可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。

产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。

特点                        

o 模拟式热质式流量计/流量控制器：

- 环境温度补正

- 可应用的流率范围广：

- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM

o 高精度

±1%(≤15SLM)

±1.5%(＞15SLM.)

o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能

o 国际兼容

应用                                

o 工业设施的气体供应监测/控制。

o 气体分析设备。

o 固定气体流量控制。

o 气体混合或分离设备

标准                                气体质量流量用氮气(N2)标定。

标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa

输入输出                            

输入设定电压…………0～+5.00V

输出电压检测…………0～+5.00V

型号                               

 流量范围是以mL/min，L/min 为单位

 例：

5mL/min 表示为005

500mL/min表示为500

 50 L/min(nor) 表示为50L

规格 (热式)