全陶瓷制 直线电机驱动 超精密线切割放电加工机 EXC100L 实现10纳米的最小驱动单位。因追求NANO而进化的超精密机床。 EXC100L不仅采用了本社制造的气压轴承“陶瓷制空气滑块”和直线电机驱动，并且世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现最小驱动单位10纳米，并维持稳定的超精密加工。

 

 

产品特征

产品规格

加工样品

 

 

产品特征

 

 

实现工作台最小驱动10纳米 通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机，世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现工作台最小驱动单位10纳米。 标准搭载高性能加工液冷却装置 通过标准搭载高性能加工液冷却装置，维持稳定的超精密加工。 主要构造采用陶瓷 由于采用直线电机驱动方式，无需使用滚珠丝杠，避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外，通过在主要构造材料中采用陶瓷材质，保证了长期稳定的高精度。

 

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产品规格

 

 

各轴行程 X×Y×Z(mm)	100 × 120 × 100
U×V轴行程(mm)	20 × 20
锥度加工控制角度	±6°(板厚：60mm)
最大工件尺寸 宽×长×高(mm)	150 × 150 × 60
最大工件质量(kg)	10（包括夹具等）
机床主体尺寸 宽×长×高(mm)	2280 × 1830 × 1990

 

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加工样品

 

 

使用φ0.02极细丝的微细齿轮加工
直线电机带来的伺服高响应性使齿轮的高精度加工成为可能。

电极丝直径 φ0.02 工件材质 G5(超硬) 工件板厚 6mm 模块 0.026 加工面粗糙度 0.70μmRz 加工时间 1小时15分 加工液 油

极细丝实现的纤维喷嘴加工
使用φ0.03极细丝的纤维喷嘴加工（下孔φ0.065mm）。

电极丝直径 φ0.03 工件材质 SUS材料 工件板厚 0.8mm 沟宽 0.060、0.100mm 加工面粗糙度 0.60μmRz 加工时间 １孔6分、30分 加工液 ?

极细丝实现的螺旋状加工
使用φ0.03的极细丝加工螺旋状的零部件。

电极丝直径 φ0.03 工件材质 铜 工件板厚 1.3mm 加工面粗糙度 0.80μmRz 加工时间 2小时13分 加工液 油

 

 

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