超长相位掩模板的长度可达150mm，是目前世界上最长的。产品特性
· 150mm长的光栅结构
· 可用的最长相位掩模板
· 应用领域包括色散补偿和DWDM
· 全息法制作，消除了间隙误差 技术指标 参 数数 值工作波长190-320nm相位掩膜板周期0.6-1.2um模板周期的精度 ±0.3nm( ±0.1nm可以选择)模板周期的测量精确度 ±0.02nm基板尺寸15mmx 158.75mm实际模板的栅结构尺寸10mmx 150mm残留啁啾(对均匀模板) ≤10pm/cm,在135nm的中心区域啁啾范围(对啁啾模板)0.03nm/cm-30nm/cm啁啾精度 ±0.005nm/cm-1nm/cm(随啁啾改变)线性啁啾的非现性0.5%到35%(随啁啾改变)衍射效率0级衍射 ≤5%, ±1级衍射 ≥30%光脉冲损害极限1J/cm2, 50Hz@248nm材料人造熔融石英基板平面< 2um TIR,两边验收涂覆可选楔< 30 arcsec厚度2.3mm ±0.2mm对于啁啾相位掩模板,中心位置误差是 ±200μm