LF-400
SERIES
概要
LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器：
- 低单价
- 环境温度补正
- 可应用的流率范围广：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
o 国际兼容
应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。
o 气体分析设备。
o 固定气体流量控制。
o 气体混合或分离设备
标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出
输出电压检测…………0～+5.00V
输入设定电压…………0～+5.00V
