DIT5200差动电涡流位置传感器内含两个电涡流探头,具有高分辨率、高灵敏度,多用于被测材料为铝、铜等的导电材料;有单、双通道配置。 |
应用领域 |
应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。 |
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主要特点 |
◆ | 线性度:±0.1~1%; |
◆ | 量程:±0.25mm /±1.915mm; |
◆ | 频响: 0~22KHz; |
◆ | 埃米级分辨率; |
◆ | 高灵敏度,最高394mV/μm; |
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