真空管式炉

炉管尺寸：

外径Φ50、60、80、100×1000mm

极限温度：

1200℃

温度控制器：

PID自动控制 晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器

最快升降温速率：

20℃

加热区：

400mm

恒温区：

200mm

温度精度：

±1 ℃

电源：

单相220V,交流50Hz

多通道流量计控制系统

标准量程：

100，200 ，500，1000SCCM； （以氮气标定，除以上标准外量程可选）

准确度：

±1.5%

工作压差范围：

0.1～0.5 MPa

最大压力：

3MPa

接头类型：

Φ6双卡套不锈钢接头

高真空系统

泵体积流量N2：

33 L/S

压缩比：

≥1011mbar  

实验真空值：

10-5mbar

功率消耗：

140W

启动时间：

2min

电源要求：

185-265VAC

射频电源

信号频率：

13.56MHz±0.005%W

功率输出范围：

0-500W

最大反射功率：

100W