XH-MPS-150设备是增强型手动分析探针台，用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台，可吸附多种规格的圆片及芯片，并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。设备可代替美国CASCADE公司的EPS150系列的手动探针台。

工作台行程：160mm×160mm

工作台结构：精密高刚性直线导轨，滚珠丝杠

工作台分辨率：0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选）

工作台操作方式：手轮

承片台:Z向接触/分离；行程0-3mm

Z向粗调行程:10mm

θ向微调范围:±15度（360度可选）

针座平台升、降行程：0.66mm

针座平台接触/分离：真空吸附

吸片盘吸片方式：真空吸附

吸片盘分档：（2″、3″）、4″、6″单独真空吸附，三档可选

吸片盘上、下片方式：快速抽屉式上、下片

显微镜微调支架：X方向± 45mm，Y方向± 45mm，Z方向30mm，整体后仰角20 º可调，显微镜的前后倾角为30º

外形尺寸：610mm×560mm×500mm（长×宽×高）

设备重量：约40 KG

电源：AC 220V±22V   50Hz±1Hz

功率：0.05kW

真空：-80 KPa

环境温度：15ºC-30ºC

相对湿度 ：＜60%