NM3000闭环控制器系列是专门设计用于控制纳米平台。使用最数字信号处理技术的NMS3000系列，结合了压电驱动器放大器，电容位置检测电路和伺服控制功能。 主要特点 ◆ 独立的系统带有通用输入电源； ◆ DSP提供的、可配置的控制参数； ◆ 1，2和3通道； ◆ 小于0.02％的线性度； ◆ 21比特位有效分辨率；7位浮点指令（比2百万分之1还要高，相当于在100微米的范围内可以识别0.05纳米）； ◆ 控制器和纳米平台的较准数据存储在EEPROM中，这样就很容易调整纳米平台和控制器的出厂默认配置； ◆ 虚拟面板软件允许用户完全控制系统参数； ◆ 存储和取消设置方便用户应用于不同的现场； ◆ 快照功能允许您的电脑以图形显示噪声、频率响应和处理时间，并通过调整PID循环参数优化； ◆ 综合命令语言集成于DLL，可以方便的整合到系统应用到特定的环境； ◆ 内置RS232接口可以通过任何一台PC的串口（COM）发送高达每秒100次的控制命令； ◆ DSP串行端口使用标准的高速通信； 推荐产品 , 参数 符号 值 单位 备注 静态参数 型号 NM3110 NM3220 NM3330 尺寸 288L x 307W x 70H mm 线电压 90~260 VAC 线频率 45~65 Hz 控制器线缆长度 2~5 m ① 控制接口 RS232 ② 命令格式 单精度浮点数(7位) ③ 测量格式 单精度浮点数(7位) ③ 动态参数 比例因子 ax1,bx1 1 um ④ 纳米传感器带宽 5 KHz ⑤ 内在传感器噪音 kxm·nden 100x10-9 Hz-1/2 ⑥ 高压放大器输出偏差 -20~120 V 高压放大器带宽 10 KHz ⑦ 内在高压噪声(RMS) 0.3 mV 高压放大器最大电流 50 mA ⑧ 预热时间 25 Min 预热温漂 50 nm 温漂 低温漂 200x10-6 K-1 ⑨ 标准 70x10-6 工作温度 0~40 ℃ 存储温度 -20~70 ℃ 闭环通道 1 3 6 ⑩ 注意： ①、
低噪音选项的线长最大只能是2米。 ②、
包括标准接口，其他接口也可用。 ③、
数字分辨率在大多数情况下优于系统噪音。整数格式也可用。这个是客户可选的；出厂设置是IEEE标准格式。 ④、 出厂设置，用户可选。 ⑤、
“读位置”命令以5KHz的带宽返回位置信息，“快照”模式以12.5KHz返回位置信息。 ⑥、
这个参数是低噪音的选项(-LN)。标准型号的选项是它的三倍。这个数乘以传感器差距的平方和带宽的平方根，然后再除以10pF情况下传感器的差距以达到以米为单位噪音的有效值；那么就是：噪音=kxm·ndens
x G2/d10pF，G是指电容的差距，d10pF是指在10pF电容下的电容差距。 ⑦、
在4uF负载下的带宽。在更高负载下的带宽是6.1KHz(6uF),3.7KHz(10uF)。标准平台的电容式4uF。 ⑧、
在少于1分钟的短路保护下可以达到100mA，请联系真尚有了解详情。 ⑨、
例如，一个定位器的传感器差距是100um并且是-LD选项的温漂是7nm·K-1，那么它仅仅用于控制器，并不包括微动平台热膨胀。 ⑩、
如果想要获取6个通道，可以用两个控制器连接在一起。通道可以是开环或者是闭环(用户可选)。
使用PID（比例积分微分）反馈，大大提高了处理速度，并最大限度地减少了机械共振的影响。开发的控制技术，使用21比特位分辨率（100微米范围内可以识别0.05纳米），比以前好30倍。有虚拟面板软件，方便用户的控制所有的运行参数，包括PID环路参数设置。
ZNXsensor超精密电容位移传感器 
ZCS1100精密电容位移传感器 
技术规格安装尺寸
