真空泵油具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。

真空泵油广泛应用于电子，塑胶，医药，化工，钟表，食品，印刷，包装，模具，汽车，陶瓷，建材，真空电镀，浸渍，热处理，冶金，树脂玩具饰物等领域。