每个吸附床一般都要经历吸附、顺向放压、抽空或减压再生、冲洗置换和均压升压等步骤，周期性地重复操作。当金属在加硬至冷却过程中, 其中的合金与碳产生溶解并结合及扩散形成奥氏体 , 在冷却过程时, 由于低温产生压制而形成马氏体, 而由于马氏体的最终转变点非常低, 在超低温时由于组织体积收缩, 晶格常数缩细而加强碳原子析出的驱动力, 于是马氏体的基体析出大量超微细碳化物,在同一时间，各个吸附床则分别处于不同的操作步骤，在计算机的控制下定时切换，使几个吸附床协同操作，在时间步伐上则相互错开，使变压吸附装置能够平稳运行，连续获得产品气。根据解吸方法的不同，变压吸附制氧又分为两种工艺
   1、PSA工艺： 2、VPSA工艺：

对于实际的分离过程，还必须考虑空气中的其它微量组份。二氧化碳和水份在通常的吸附剂上的吸附能力一般要比氮和氧都大得多，可在吸附床内填加合适的吸附剂（或利用制氧吸附剂自身）使其被吸附清除。制氧装置所需的吸附塔数目取决于制氧规模、吸附剂性能和工艺设计思路，多塔操作时运行平稳性相对更好一些，但设备投资较高。目前的趋势是：使用高效制氧吸附剂、尽量减少吸附塔数量并采用短操作周期，以提高装置的效率并尽可能节约投资。

    激光切割用深冷空分设备 氮和氧都具有四极矩，氮气在沸石分子筛上的吸附能力比氧气强。因此，当空气在加压状态下通过装有沸石分子筛吸附剂的吸附床时，氮气被分子筛吸附，氧气因吸附较少，在气相中得到富集并流出吸附床，使氧气和氮气分离获得氧气。当分子筛吸附氮气至接近饱和后，停止通空气并降低吸附床的压力，分子筛吸附的氮气可以解吸出来，分子筛得到再生并重复利用。两个以上的吸附床轮流切换工作，便可连续生产出氧气。
    氩气和氧气的沸点接近，两者很难分离，一起在气相得到富集。

国内空分装置的流程分类

行业分法：偏重使用的参数：①冶金型：②化工型

代分法：第一代：铝带盘蓄冷器的高低压流程；第二代：铝带盘蓄冷器或石头蓄冷器的全低压流程；第三代：带产品气盘管的石头蓄冷器的全低压流程；第四代：切换板式主换热器的全低压流程；第五代：分子筛吸附、增压透平膨胀机、DCS控制的全低压流程；第六代：规整填料上塔、全精馏制氩的全低压流程；第七代：内压缩流程。

  双泵内压缩工艺

低温深冷技术是将空气压缩、深冷至液化,利用氧、氮组分的沸点不同,再通过精馏完成氧-氮混合物分离,低沸点组分氮与高沸点组分氧在精馏塔的塔盘进行质、热交换,氮不断地从液相中蒸发出去,同时使氧不断地从气相冷凝到液相,最终实现氧、氮分离。、

 激光切割用深冷空分设备