ST2263 软件界面

配S2253-F01钨针探头测硅片 配ST2558B-F01探头测试ITO薄膜

二、概述

ST2263型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等部分组成。

主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，USB通讯接口。仪器主机所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘和数码开关输入；具有零位、满度自校功能；测试功能可自动/手动方式；仪器操作可由配套软件在PC机上操作完成，也可脱PC机由四探针仪器面板上独立操作完成。测试结果数据由主机数码管直接显示，也可连机由软件界面同步显示、分析、保存和打印！

探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

测试台选配：一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。

详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》点击进入

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

三、基本技术参数

3.1 测量范围

电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm

方 阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□

电 阻：1×10-5～2×105 Ω ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω

3.2 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定)

直 径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.

测量方位: 轴向、径向均可

3.3. 4-1/2 位数字电压表：

(1)量程： 20.00mV～2000mV

(2)误差：±0.1%读数±2 字

3.4 数控恒流源

(1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA，1A

(2)误差：±0.1%读数±2 字

3.5 四探针探头（选配其一或加配全部）

(1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调

(2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调

3.6 电源

输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W

3.7 外形尺寸：

主机 220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（高）