全氟橡胶FFPM-0型圈
　　(Perfluoroelastomer)

　　优点：

　　· 耐热特性

　　· 优异的抗化学特性

　　· 低Outgassing 特性

　　· 优异之抗Plasma特性

　　缺点：

　　· 耐低温特性较差

　　· 原料价格较高

　　· 生产难度较高 · 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。