泵口压力由压力变送器测定并以电信号进入PLC，在工控机显示器上监视作压力为～﹣53KPa。当≤﹣60KPa时，由PLC联锁氧压机、真空泵、PLC停机。（2）泵轴承温度测定、联锁同鼓风机。（3）真空泵振动速度测定、联锁同鼓风机。

湿式罗茨真空泵运行中，应在泵口注入密封水，注入水量通过水表来控制，不同型号真空泵密封水水量是不同的。密封水水量过大，电机负荷增大。密封水水量过小，真空度低，泵排气温度升高。密封水水质一般要求软水，总硬度不超过20～30德国度。如果水质硬度大，长时间运行后会在叶轮上结垢，影响正常使用。吸附切换系统由若干台吸附器和切换阀、调节阀组成。

 35立方深冷制氮设备生产吸附器内装入吸附剂。吸附器上部装有压力温度测定，并通过PLC在工控机显示器显示。

所有切换阀均采用气动切换蝶阀。阀门的动作是由PLC控制，各阀门根据设定的控制程序进行动作。装置停机时，切换阀处于关闭状态。

比如：模具钢、高速钢、硬质合金在深冷处理后强度、韧性、硬度、耐磨性、尺寸稳定性都有所提高，表现为综合性能的提高。国内对深冷技术研究贡献最大的应该是中科院理化所，从设备、机理、工艺等多个方面对深冷技术进行研究和推广，目前深冷在刀具、模具、等行业的广泛开展与中科院理化所有着密不可分的关系。

处理国内的研究在20世纪中叶展开了，利用酒精+干冰进行了模具、量具、工具的尺寸稳定性试验和应用。90年代，各院所开始对高速钢、模具钢、硬质合金等材料进行了充分的研究分析，研究表明，深冷处理对提高这些材料耐磨性、韧性、硬度、尺寸稳定性、耐腐蚀性都起到不同程度的作用。

调节阀的开或关由PLC控制，阀门开度为设定值，可通过工控机改变开度。主要用于下列情况：吸附器再生工况控制清洗气的通或断和调节。用于控制吸附器氧气产量。用于吸附器逆向充压气和清洗气的通或断。

氧气压缩系统由压氧调节、氧气鼓风机、送氧调节、氧气贮存设备组成。

氧压机根据用户不同要求选用不同的氧气压缩机。压氧调节 一般来说氧压机的吸入气量应比制氧机产量大10％左右，这是考虑到制氧机可能的增产。当制氧机产氧量不能满足氧压机吸气量要求时，氧气吸入管可能出现负压，对氧压机不利。严重时，氧压机无法工作。设置压氧调节的目的在于，当氧压机入口出现负压时，将压缩后中压氧气节流降压充入氧压机吸入口端，以提高氧压机吸入压力。回流气的气量通过氧压机入口处压力变送器测定的压力来控制CV—502的开启大小或关闭加以调节。实现自动调节。活塞式氧压机由于入口存在脉冲现象，为稳定氧压机入口压力，我们增设一台氧气平衡器。

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