性能参数
型号Crysta-Apex C203016G Crysta-Apex C306016G
测量范围X 轴2005mm 3005mm
Y 轴3005mm 6005mm
Z 轴1605mm [2005mm] 1605mm [2005mm]
分辨率0.1μm 0.1μm
精度* MPEE (6+6L/1000)μm [(7+7L/1000)μm: Z 轴=2005mm] (7+6L/1000)μm [(8+7L/1000)μm: Z 轴=2005mm]
MPEP 6μm [7μm: Z 轴=2005mm] 7μm [8μm: Z 轴=2005mm]
MPETHP 6.5μm (90s) [7.5μm (90s): Z 轴=2005mm] 7.5μm (90s) [8.5μm (90s): Z 轴=2005mm]
重量 ( 主机) 12000kg 16000kg
* 本测量机带有温度补偿系统
统一标准: ISO 10360-2 使用的探测系统: SP25M 带有ø4 x 50mm 测针 L 为测量长度 (mm)

技术参数
长度标准: 高精度线性编码器
导向系统: 气浮轴承
最大驱动速度: 500mm/sec
可确保精度的温度环境*
温度范围18ºC - 22ºC
温度变化每小时1.0K
每24 小时2.0K
温度梯度垂直1.0K/m
水平1.0K/m