AD3KH系列:专为苛刻工艺设计的大型干泵, AD63KH和AD73KH
优点：
•基于长期实践证明的多级罗茨泵技术，AD3KH系列为市场提供了一种最低能耗的选择。
•兼容NF3气体（采用特别的轴承和铸铁材料）
•对于粉末及强腐蚀气体具有最高级保护
•与现场监控网络兼容
•分离式轮式框架，便于维护应用：
•半导体工艺（ARC，PECVD）
•光电元件工艺
•兼容NF3净化
阿尔卡特低功率消耗工艺泵A3H系列
A3H系列包含A803H，A1503H，A1803H型干泵。
主要优点：
•降低了总成本
•占地面积小，节省空间
•高可靠性
•符合半导体加工规则
该A3P系列特别设计，以减低营运成本。
涵盖范围广泛的抽水速度，从100m3/h到1000m3/h，A3P系列每300毫米响应一次，以最低的工作成本达到中等真空要求。
与传统的抽真空方案相比，节省了高达50％的电力消耗，其中以最低的冷却水流量，和降低的氮气吹扫为主要的关键特征。所有这一切是减少高达50％的消耗的原因！
特点：
•低公用事业费：1000m3/h泵只要1.5kW
•紧凑的设计：只有310mm宽
•复合罗茨技术
•耐腐蚀
•低噪声
•低振动
•与Semi S2-0706兼容
主要优点：
? 降低了总成本
? 占地面积小，节省空间
? 高可靠性
? 符合半导体加工规则
应用：
? 蚀刻（氧化，聚合）
? RTP协议
? 分解/灰化
? 植入源
主营业务：
1、进口配件真空泵的供应品牌: TX、JOYSUN、南光、美国瓦里安VARIAN、美国安捷伦、德国pfeiffer vacuum普发、德国BUSCH普旭、德国BECKER贝克、德国Rietschle里其乐、日本ULVAC爱发科、阿耐思特、爱德华、韩国斗一等真空泵；
2、真空行业相应型号的配件：真空泵油雾分离器、真空泵叶片、真空泵碳精片、阀门、测量仪器、配件、耗材、真空泵油、特种工业润滑油等进口真空泵配件；
3、真空泵维修：各种进口真空泵维修、维护、保养服务。
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