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1、晶圆盒内的氧气浓度在净化与进入处理过程中几乎与晶圆/晶圆盒表面状态无关。
2、晶圆/晶圆盒表面状态对湿气净化及进入处理的影响显著。
3、晶圆/晶圆盒的表面状态越干燥，晶圆盒内就能够实现越低的湿气浓度并在净化与进入过程中得以保持。
4、湿气除气作用/解吸附作用在水汽回升中起主要作用大。
5、氧气进入显示分子浓度的指数表现随时间变化。
PVDF管
晶圆盒