气环真空泵震动增大的故障原因分析:轴承损坏——更换轴承;叶轮不平衡——清除叶轮中异物或校动静平衡;主轴变形——更换主轴或泵头;工作状态进入湍震区——调整工作状态,避开湍震区
噪音突然增大的故障原因分析:轴承损坏——更换轴承;叶轮磨损——更换叶轮或泵头;坚固件松动或脱落——拧紧紧固件
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