一、概述

  半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

二、应用领域

   1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；

2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；

3、实验室和中试车间用超纯水；

4、汽车、家电表面抛光处理；

5、光电子产品；

6、其他高科技精微产品；

三、制备电子工业用超纯水的工艺流程

1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

3、采用反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点  

四、电子工业超纯水设备特点

    电子工业超纯水设备通常由全自动多介质过滤器，全自动活性碳过滤器，全自动软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。  

五、标准法规

中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997

温馨提示：水处理设备的要求需要了解几点内容：

1、纯水的产水量（按每小时计算）

2、纯水要求的水质（例如多少兆欧）

3、原水进水水质是什么水（例如自来水，地表水，深井水）

4、制作纯水的工艺（工艺不一样价格也不一样）

5、用于生产什么产品（例如电池片，蓄电池，玻璃行业，化妆品行业，化工行业等）

6、配置的品牌及控制方式（PLC自动控制，手动控制）型号和数量等。