无尘室(洁净室)是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室历经演变,以通风方式不同而分为两种主要类型。这就是紊流洁净室和单向流洁净室。紊流洁净室也称为“非单向流洁净室”,而单向流洁净室以前则称为“层流”洁净室。单向流型的洁净室其送风量比紊流型大得多,从而可实现更高的洁净度。
紊流洁净室的换气次数一般是大于等于20次/小时,这比象办公室这样的一般房间的换气次数大得多。在这种类型的洁净室中,由人员和设备产生的污染混合于送风之中,污染先被稀释,然后再予以清除。
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