供应ZnO靶材
产品说明书
ZnO靶材 |
纯度(ZnO>99.99%) |
杂质(PPM Max.) |
杂质名称 | 含量 | 杂质名称 | 含量 |
Fe | 4 | Ni | 4 |
As | 8 | Sb | 5 |
Cd | 4 | Ca | 10 |
Cu | 5 | Pb | 2 |
Co | 2 | Mg | 2 |
Cr | 1 | Na | 2 |
Mn | 5 | Zr | 3 |
颜色 | 黄色 |
相对密度 | ≥98% |
相对导电率:<1Ωcm
靶材参数:长度:≤300nm
宽度:≤125nm
厚度:≤22nm
旋转靶材:内径:125mm
厚度:≤22nm
最大长度:4000mm
单节长度:<260mm
提供帮定