目标

      1对于在应用于半导体晶片的成产的平板影印术过程中，测定Z轴位置，精度保持在亚原子水平。

      2 保持高分辨率和可重复性。

      3 避免不良的影响，例如 抖动，磁滞，以及热漂移等一些列在其他阶段处理中发生的情况。

 

解决方案

      在控制Z轴高度的过程中，晶片所在的位置必须地在能源的焦平面上。Kaman电涡流位移传感器 系统可以准确测量Z轴的位置，并且提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出可承受范围。

 

特点

     1 类型：电涡流位移传感器 SMT-9700

     2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

     3 高分辨率：系统可分辨出1纳米的位置改变。

     4 可重复使用。

     5 应用广泛。

电涡流位移传感器 应用领域

光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

 

电涡流位移传感器 主要特点

尺寸小巧

埃米级分辨率

有1、2或3通道可配电涡流探头

可配13种电涡流探头

工作温度：0～70ºC(补偿范围15～55ºC)

符合CE和RoHS标准

输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)

供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)

详情请访问：

英国真尚有集团

深圳市真尚有科技有限公司

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