机台底坐

高精度花岗石底座及立柱

线性精度

（3+L/150）µm

表面照明

LED环形超亮冷光源（亮度可调）

轮廓照明

LED超亮圆形灯（亮度可调）

计算测量功能

REICA
2.5D精密测量系统软件

解析力

0.001mm

重复精度

0.002mm

CCD

SONY芯片1/3彩色CCD

目镜

0．5X（可选配1X,2x）

物镜

0．7X～4.5X
放大倍数20X～120X

电源供应器

AC90～264V
50/60Hz

载重

30KG