产品名称：曝光机
产品编号：143654-378
产品型号：55666
市场价格：元/台批发价格：元/台
更新时间：2011.06.09
出品单位：浙江福禄标牌设备有限公司

    产品详细介绍

基本概念

　　曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。

   曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

工作原理

   在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

应用范围

　　用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。

HASUC产品：真空干燥箱、烘箱、电子防潮箱、鼓风干燥箱、培养箱、生化培养箱、霉菌培养箱、电热恒温培养箱、隔水式恒温培养箱、霉菌培养箱、细菌培养箱、二氧化碳培养箱、低温培养箱、BOD培养箱、药物稳定试验箱、高温箱、恒温摇床、恒温培养摇床、恒温干燥箱、恒温箱、恒温培养摇床、恒温培养箱、电子干燥柜、恒温干燥箱、防潮箱、高温烤箱、低温培养箱、恒温培养箱、恒温干燥箱、防潮箱、高温烤箱、低温培养箱、恒温培养箱、

福禄；牌电泳槽是我公司针对电泳涂装工艺的特殊要求，吸取同类生产厂家的经验，经过多年的研究和开发的电泳涂装主要设备。用途广泛，适应各种电泳漆。

电泳槽特点：

1.安装、维修方便；

2.槽底和转角采用U型设计，无循环死角；

3.及时排除电泳过程中在被涂物表面上产生的气体，保证槽液循环均匀；

4.过滤优良，防止漆液产生颗粒；

电泳槽配置如下：

耐酸碱磁力泵、循环及加热管路、过滤装置、阳极板、阳极框、阳极膜、阴极装置、电泳主槽、电泳副槽、加温管、换热盘管、加温箱等部件组成。

电泳槽注意事项：

1.首先确认循环泵运转方向是否正确，根据电泳工艺的特殊要求；主槽应根据零件的大小，工作量和工作间距等参数确定合理的槽容量。零件在槽中距液面和槽底均为100－150mm，距阳极装置200－300mm。主、副槽体积比为5～6：1。
2.主槽与副槽之间通过溢流孔相连。阳极板为耐酸不锈钢板制造，阳极和阴极（零件）的面积比为1：4～5，采用离子 交换膜的阳极隔离装置。
3.连续循环过滤系统要求循环泵24小时运转，电机温度不超过60℃，使用50-80μm滤芯连续过滤，并经常检查和清洗及更换滤芯。
4.热交换装置最好不要用电加热管直接加温电泳液，以避免局部过热而使漆膜成分发生变化，电泳槽最好配备温控仪（温度显示和自动控温）。

操作说明：

加热装置共有4个阀门，在正常循环时1号阀门打开，如需加温时请关闭3号阀门，打开2、4号阀门，如果不需要加温时请打开3号阀门，关闭2、4号阀门。