专业生产 多弧, 磁控溅射离子镀膜机

多弧-磁控溅射离子镀膜机是一种多功能、多用途的镀膜设备。它集电弧离子镀膜与磁控溅射离子镀膜于一休，即可镀制Au、AI、C r、Ni，不锈钢等高温、低温耐蚀膜，装饰保护膜，又可镀制TiC等超硬膜。在机械、轻工、电子、国防等领域有着广泛的应用。该种设备电气系统全部按国际标准设计，保护功能齐全，性能可靠，各工艺参数均可显示控制。气体流量由单片机为内核的自动气体流量控制器控制，可自动或手动控制两路气体流量，精度为1％SCCM。同时具有靶电源控制功能，镀膜过程结束。

自动切断磁控靶电源

技术种类：物理气相沉积离子、磁控溅射镀（Physical vapor deposition ion deposition and magnetron sputtering）
适用材料：金属 陶瓷 玻璃 塑料
设备尺寸：根据客户要求，可设计各种尺寸的生产单室单门，单室双门，双室设备
控制系统：PLC控制系统（自动、手动可选）
电源：离子电源 偏压电源，磁控溅射电源
设备颜色：碳钢喷漆，不锈钢喷砂（可供客户订制）
操作人员：2-3名
每小时电耗：约40KW
制作材料：碳钢或者不锈钢
工艺气体：氩气，（氮气）
配套工程：压缩空气、冷却水
占地面积：3*4*3m（长*宽*高）