【专业生产】多弧离子镀膜设备真空离子镀膜机 工具镀
多弧离子钛金镀膜原理:
多弧离子镀膜是把真空弧光放电用于蒸发源的镀膜技术。即真空环境下引火器引燃弧光放电源(阴极)与真空室(阳极)之间形成自持弧光放电,使从阴极弧光辉点射出的阴极物质离子形成空间电荷层,产生强电场,使阴极表面上功函数小的开始发射电子;电流局部集中产生的焦耳热使阴极材料局部地爆发性地等离子化,发射电子和离子,同时也放出熔融的阴极材料,在工件偏压的作用下与反应器件化合而沉积在工件表面上,从而在工件上形成被镀的膜。
多弧离子镀具有膜层密度高,附着力强,沉积速度快的的特点。
利用多弧离子镀膜技术,既能镀制耐磨损膜(TiN、TiC、 TiALN),防腐蚀膜(如AL、CR、不锈钢、TiN等),也可镀装饰膜(仿金TiN、ZRN),如手表壳、小五金、陶瓷装饰等。
采用了新型磁场设计及电弧源结构设计,优化了磁场分布,大大提高了弧源工作的稳定性,极大地减少了膜层中的液滴,使阴极表面得到了均匀刻蚀,提高了靶材的利用率。
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