电子、电力行业用超纯水设备、纯化水设备简介：

电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

　电子工业制备超纯水的工艺大致分成以下3种：

　　1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

　　2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

　　3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

　电子工业用EDI超纯水设备的应用领域

　　1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；

　　2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；

　　3、实验室和中试车间用超纯水；

　　4、汽车、家电表面抛光处理；

　　5、光电子产品；

　　6、其他高科技精微产品；

线路板生产过程中，FPC/PCB湿流程绝大部分工艺都是相似的。各个工艺环节对纯水的要求也是大同小异。我们在线路板生产过程中常用到的电镀铜，锡，镍金;化学镀镍金;PTH/黑孔;表面处理蚀刻等生产过程都需要用到不同要求的纯水。因为线路板生产过程中使用的药水不同，生产工艺流程的差异，对纯水的品质要求也不一样。最关键的指标是：电导率(电阻率)，总硅，pH值，颗粒度。线路板、电路板用纯水因为本身工艺流程的不同对纯水制造的工艺流程也不同。

工艺流程1：工艺一原水→原水箱→原水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→阳床→除碳器→中间水箱→中间水泵→阴床→除盐水箱→除盐水泵→混床→纯水箱→输送泵→用水点

　　工艺流程2：原水→原水箱→原水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→阻垢/软化→保安过滤器→高压泵→反渗透→中间水箱→中间水泵→混床→纯水箱→输送泵→用水点

　　产水水质：电阻率≥5MΩ•cm，达到中国中高压锅炉补给水标准

　工艺说明：

　　1、机械过滤器

　　主要用于去除水中铁锈、泥沙、藻类、悬浮物等杂质，降低水的浊度，使出水浊度小于0.5NTU，CODMN小于1.5mg/L，含铁量小于0.05mg/L，SDI≤5。可通过控制阀随时进行反洗、正洗，以冲洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢复其过滤能力。

　　2、活性碳过滤器

　　活性炭具有极强的吸附过滤性能，对水中的余氯、异色、异味、有机物等具有很强的吸附作用。由于反渗透膜对余氯、有机物十分敏感，所以必须配置活性炭吸附余氯、有机物，使出水余氯≤0.1mg/L，SDI≤4，满足反渗透膜的给水要求。可通过随时控制阀进行反洗，以冲洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢复其处理能力。

　　3、阻垢装置(软化器)

　　几mg/L的阻垢剂就能防止几百mg/L的碳酸钙沉淀析出。其作用机理是阻垢剂在水中生成的长链的阴离子容易吸附在微小的碳酸钙晶粒上，同时这种阴离子易于和CO32¬-的离子置换,这种置换发生在分散于水中的全部钙离子层上,从而防止了碳酸钙的析出。采用美国米顿罗计量泵自动加药，计量准确、加药可靠。加药量约为3PPM。

　　目前在纯水系统中大部分都采用阻垢装置，因为阻垢装置比软化器更可靠，同时运行费用低。

　　4、保安过滤器

　　在预处理后，高压泵前配置保安过滤器，可以防止杂质颗粒等进入高压泵内而损伤高压泵和反渗透膜。采用外松内紧式的PP滤芯(带骨架、强度好)，水由外向内过滤，可以延长滤芯被堵塞的时间。上部具有排气阀，可以防止空气进入泵而损坏泵，下部具有排污阀，可以随时排掉截留的杂质。

　　5、反渗透装置(复床)

　　反渗透技术是目前国际很成熟的一种脱盐技术，也是市场应用最广泛、适用范围最大的一种水处理工艺。能精密的滤除水中的细菌、病毒、金属离子、盐类、农药及各种致癌物质，其工作压力低、产水量大、脱盐率高，易于维护。设计自动冲洗装置，可延长其使用寿命。

　　阳床(内装阳树脂)与阴床(内装阴树脂)组合在一起就叫复床，阳床交换水中的阳离子，阴床交换水中的阴离子。其产水水质于反渗透相当，但运行费用较高，基本被反渗透所代替。

　　6、混床装置(EDI装置)

　　就是将强酸型阳树脂、强碱型阴树脂按一定比例均匀混合在一起，用来去除水中残余的阴、阳离子，而树脂交换下来上的H+、OH-讯速结合成水，达到纯化水的目的。当其失效后，可通过配置的再生装置进行处理，然后恢复其交换能力。

　　也可采用EDI装置代替。EDI及连续电去离子，可代替混床产超纯水，其技术先进，不需酸碱再生，但一次性成本相对较高。