1．技术参数
l 曝光面积：150mm×150mm
l 分辨力：0.8-1mm（胶厚2 mm的正胶）
l 对准精度：±0.6mm
l 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
l 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
l 样片尺寸：直径f15mm-- f150mm；厚度0.1mm--8mm
l 照明均匀性： ±3.5%（f100mm 范围）； ±5%（ f150mm范围）
l 掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 最大胶厚：500mm(SU8胶，用户提供匀胶条件)
l 光源平行性：3.5
l 汞灯功率：1000W（直流）
l 曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定）
2．外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽) ´2150mm（高）
3．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
l XYZ汞灯调节台
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
l 冷却风扇
l 循环水冷系统
（2）对准工件台
¨掩模样片整体运动台
¨掩模样片相对运动台
¨转动台
¨样片调平机构,自动完成
¨样片调焦机构，自动调
¨承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
¨基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
¨光源（配备品2只）、电源
¨双目双视场对准显微镜主体
¨目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
¨物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
（4）CCD对准系统
¨光源（配备品3只）、电源
¨成像光学系统
¨数据采集卡
¨CCD
（5）电控系统
¨汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
¨单片机控制系统
¨控制柜桌
¨计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)
（6）气动系统
¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
¨电磁阀驱动
¨气动仪表
（7）其他附件
¨真空泵一台（无油泵）
¨空压机一台（静音泵）
¨管道
（8）技术资料
¨使用维修说明书
¨显微镜使用说明书
