1．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）
采用三爪找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。
2．技术参数
l 曝光面积：100mm×100mm（可升级150mm×150mm）
l 分辨力：1mm（胶厚2 mm的正胶）
l 对准精度：±1mm
l 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 样片尺寸
直径f15mm-- f100mm(可适应非标准片或碎片)
厚度0.1mm--6mm
l 照明均匀性： ±4%（ 100mm×100mm 范围）
l 掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6º
l 汞灯功率：350W（直流）
l 曝光波长：365nm
l 曝光能量密度：>15mW/cm
l 曝光方式：定时（倒计时方式0.1s—999.9s）
3．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1600mm（高）
4．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
l XYZ汞灯调节台
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2
l 冷却风扇
（2）对准工件台
¨掩模样片整体运动台
¨掩模样片相对运动台
¨转动台
¨样片调平机构,三点自动完成
¨样片调焦机构，电机自动调
¨承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用户要求增减）
¨掩模夹4个：3英寸、4英寸、5英寸（可按用户要求增减）
¨掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
¨光源（配备品2只）、 电源
¨双目双视场对准显微镜主体
¨目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
¨物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
¨CCD对准系统，21寸液晶显示器
（4）电控系统
¨汞灯触发电源(350W直流汞灯)
¨单片机控制系统
¨控制柜桌
（5）气动系统
¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
¨电磁阀驱动
¨气动仪表
（6）其他附件
¨真空泵一台
¨空压机一台
¨管道
（7）技术资料
¨使用维修说明书
¨显微镜使用说明书
