1．技术参数
l 曝光面积：150 mm×150mm
l 分辨力：1mm（胶厚2 mm的正胶）
l 对准精度：±3mm（双面,片厚0.8mm），±0.8mm（单面）
l 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸，7英寸
l 样片尺寸：直径f30mm--f150mm
厚度0.1mm--8mm
l 照明均匀性： ±3.5%（f100mm 范围）
±5.5%（f150mm 范围）
l 掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 汞灯功率：1000W（直流）
l 最大胶厚：400 mm（SU8胶，用户提供匀胶显影条件）
l 曝光方式：定时（倒计时方式）
2．外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽) ´1850mm（高）
3．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l 1000 W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
l XYZ汞灯调节台
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
l 冷却风扇
（2）对准工件台
¨掩模样片相对运动台
¨转动台
¨样片调平机构,自动完成
¨样片调焦机构
¨承片台4个 （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸）
¨掩模夹4个 （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸）
¨掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜（可以选择带CCD型，目镜和监视器可同时观测）
¨灯源（配备品2只）、 电源
¨双目双视场对准显微镜主体
¨目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
¨物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
¨CCD光学系统（选配件）
¨XYZ底面对准工件台
（4）底面CCD对准系统
¨光源（配备品2只）、 电源
¨成像光学系统(2套,20倍放大)
¨数据采集卡
¨CCD
（5）电控系统
¨汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
¨单片机控制系统
¨控制柜桌
¨计算机系统（19英寸宽屏液晶显示器）
（6）气动系统
¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
¨电磁阀驱动
¨气动仪表
（7）其他附件（选配）
¨真空泵一台
¨空压机一台）
¨恒温循环水冷却系统
¨管道
（8）技术资料
¨使用维修说明书
