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品名:晶片扩张机/扩晶机
一. 机器用途:
晶片扩张机被广泛应用于发光二极管、中小型功率三极管、集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。
二. 机器特点:
1、采用双气缸上下控制;
2、恒温设计,膜片周边扩张均匀适度;
3、加热、拉伸、扩晶、固膜一次完成;
4、加热温度、扩张时间、回程速度均匀可调。
5、操作简便,单班产量大。
三.技术参数:
1.电源电压: AC220V±10%,50Hz
2.工作气压: 4Kg/cm2
3.温度范围: 室温0~400℃
4.上气缸行程:150/200 mm
5.下气缸行程:100 mm(可双向调节)
6.扩张面积: 120/270 cm2
7.外型尺寸: 长250/290mm×宽235/265mm×高950mm
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