ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY最新的双传感器技术在显微镜的物镜聚焦行业，拥有业界的动态性能和精度。ZSY/OSM提供埃米级的定位精度、超过100微米的总行程和小于4ms的阶跃稳定时间。
我们拥有世界的非接触式位移测量系统——纳米传感器保证了产品在纳米层级上拥有出色的分辨率，重复性和稳定性。低离轴误差和极高刚度的先进设计进一步提高了产品性能。包括最新支持双传感器技术的DSC-A-1110DST模拟控制器在内的一系列模拟和数字控制器都可用于驱动ZSY/OSM-Z-100B。
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概述 |
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ZSY/OSM系列在显微镜的物镜聚焦装置领域内代表了最高的性能。 ZSY/OSM系统用于显微镜转台和目标之间的定位，可以为定位和扫描提供埃米级的分辨率。
ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY最新的双传感器技术，在显微镜物镜聚焦领域实现了业界的动态性能和精度。 |
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应用领域 |
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表面结构分析； |
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自动对焦系统； |
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共焦显微镜； |
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扫描干涉仪； |
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推荐控制器 |
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DSC-A-1110DS模拟控制器 |
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主要特点 |
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◆ |
高于行业标准3倍速度：<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制；600Hz的响应频率；20N/μm的刚度 |
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◆ |
装备双传感器技术：在不同的负载下无需重新校准；优越的机械带宽； |
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◆ |
卓越的ZSY纳米传感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的线性度；0.005%的剩余磁滞； |
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免工具安装适配器； |
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超级不胀钢结构设计获得极高的聚焦稳定性； |
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推荐产品 |
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ZNXsensor超精密电容位移传感器 |
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ZCS1100精密电容位移传感器 |
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技术规格
安装尺寸
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参数 |
符号 |
值 |
单位 |
备注 |
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静态参数 |
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最小 |
标准 |
最大 |
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材料 |
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超因瓦低膨胀系数合金(亮镍镀层) |
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尺寸 |
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56长x46直径 |
mm |
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线缆长度 |
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2 |
m |
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接口 |
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15 Pins Sub-D |
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*范围 |
dzp.max |
100 |
um |
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静态刚度 |
kz |
20 |
N/um |
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共振频率: 0g负载 |
f0·0 |
600 |
Hz |
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150g负载 |
f0·100 |
400 |
Hz |
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280g负载 |
f0·280 |
320 |
Hz |
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500g负载 |
f0·500 |
270 |
Hz |
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最大负载 |
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0.6 |
Kg |
① |
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动态参数(标准值) |
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中 |
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② |
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3dB带宽 |
Bz·p |
210 |
Hz |
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*反应时间 |
tzs·s |
<4 |
ms |
③ |
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*位置噪声(1σ) |
δZp·n |
0.5 |
nm |
④ |
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转换速率 |
uzp·max |
20 |
μm/ms |
⑤ |
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误差 |
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最小 |
标准 |
最大 |
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*磁滞(峰到峰) |
δzp·hyst |
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0.005 |
0.01 |
% |
⑥ |
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*线性误差(峰值) |
δzp·lin |
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0.01 |
0.1 |
% |
⑦ |
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*旋转误差 |
δФz |
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2 |
10 |
uradians |
⑧ |
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*旋转误差 |
δγz |
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2 |
10 |
uradians |
⑧ |
注释：
*这些参数由各转换器实测并提供的。
①、取决于取向，Z轴方向的最大负载是600g。负载超过0.6Kg会对柔性机制造成损坏。
②、对于动态参数中的闭环参数的设置取决于有效载荷。快表示在负载少于20g的情况下平稳移动的最快速度。标准表示最大的稳定速度可以将负载提高到150g。慢是指伺服回路平稳工作时负载最大允许质量的速度-等效于噪声低设置。
③、这是2%稳定时间，这个功能是为用户可控制伺服回路设计的。测试步伐为500nm。
④、该阶段实际位置的噪声，该值是使用DSC-A-1110DS模拟控制器得到的。
⑤、真实位置随时间改变的最高速率可以实现，它受闭环参数的限制。该值是使用DSC-A-1110DS模拟控制器得到的。
⑥、百分比的位置，取决于控制器类型以及位移量： 1um的位移的滞后规格为0.1nm。
⑦、全方位运动的错误百分比。 取决于控制器类型：数字控制器允许4阶线性化。
⑧、平台上的全方位角运动，这些旋转误差是分别绕X轴和Y轴的旋转误差。 |
