整体五轴位移台02TM522（L）
特点：
l 结构紧凑，体积小巧，实现三维平移，旋转和俯仰共五轴调整；
l 左右手成对设计，方便操作；
l 线性导轨+滚珠，运动舒适；
l 双弹簧复位，消除空回；
技术指标
型号
02TM532（L）
调整维数
五维
驱动方式
测微头
驱动位置
中心
导轨
线性导轨+滚珠
三维平移行程
13mm
旋转和俯仰范围
±5º
最小刻度
0.01mm
精度
0.001mm
直线度
0.003mm(单轴)
摆动误差
＜20＂
自重
2.1kg
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