小型真空镀膜设备主要应用:镀膜工艺研发及工件样板试制等。广泛应用于企业实验室、大专院校以及研究所进行蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、电弧镀膜或者CVD沉积等方面镀膜工艺的研发。适合镀制金属膜、半导体膜、介质膜。
小型真空镀膜设备参数说明:
| 型号 | ZCK-500 | GX-500 | ZHL-600 |
| 镀膜方式 | 磁控溅射 | 电子束蒸发 | 电阻蒸发 |
| 结构 | 钟罩式 | 箱式、前开门 | 箱式、前开门 |
| 镀膜尺寸 | 500*500 | 500*500 | 600*600 |
| 真空系统 | 分子泵/低温泵 | 扩散泵机组 | 扩散泵 |
| 操作方式 | 触摸屏+PLC/手动 | 触摸屏+PLC/手动 | 触摸屏+PLC/手动 |
| 工件烘烤 | 可达600度 | 常温到300度可调 | 常温到300度可调 |
| 权限真空 | 6.7*10-5pa | 优于6.7*10-4 | |
振华真空拥有一支完善、精干的售后服务队伍,可在机械出现故障的第一时间电话沟通教客户怎样排除故障;广东省内可在24小时内到达客户工厂进行检修工作,省外可在48小时内到达。
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