消毒灭菌效果最好的是C波段的波长在254-257 nm的紫外线。如何获得经济的灭菌紫外线呢？石英玻璃低压汞灯是高效的254nm紫外线光源，占光谱辐射能量的90﹪以上。紫外线低压汞灯有多种，按放电类型分为：弧光放电低压汞灯和辉光放电低压汞灯；按灯管使用的石英玻璃种类不同而产生臭氧量不同分：高臭氧灯、有臭氧灯和无臭氧灯。 目前灭菌最常用的是热阴极低压汞灯。有人区域灭菌应用无臭氧灯，无人区域灭菌可用高臭氧灯、有臭氧灯，臭氧本身也有灭菌作用。

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