别名：X光测厚仪 X光荧光测厚仪 X-RAY测厚仪 镀层测厚仪 电镀测厚仪 无损测厚仪 分层测厚仪 覆盖层测厚仪；美国热电生产晶圆（硅片）覆层测厚仪CXR，带有自动进样装置，应用了世界最先进的光学准直器以及半导体检测器技术，把在微细面积上的超薄镀层测厚应用到了极致，如果不加自动进晶圆的装置，型号是VXR,也可以用作高精度高难度的镀层厚度测量，它们是此类机器的机皇。

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