| 品牌 | 沃家真空 vakia | 型号 | OEC-1350 |
| 适用范围 | 玻璃、望远镜,眼镜片.光学镜头.冷光杯、汽车反光镜 | 电镀电源 | 直流电源 |
| 电镀位置 | * | 镀种 | * |
OEC-1350真空光学镀膜机可镀制增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、截止膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系，能够实现0-99层膜的膜系镀膜，也能满足如汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求，配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系；对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀，并可在玻璃表面超硬镀膜。
OEC系列真空光学（电子枪）镀膜机型号及技术参数 |
性能 型号 | OEC-900 | OEC-1200 | OEC-1350 |
镀膜室尺寸 | Ф900×H1050mm | Ф1200×H1250mm | Ф1350×H1450mm |
工装夹具 | 拱形单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要，旋转5-30 r/min,无级变速 | 1.拱型单工件盘,满足客户对均匀性的要求,旋转530r/min,无级变速.
2.拱型三工件盘,行星公自转,满足客户对生产量的要求,旋转5-30r/min,无级变速 |
真空系统 | 扩散泵KT-600,罗茨泵ZJ-300,机械泵2X-70,维持泵2X-8,管路为304不锈钢. | 扩散泵KT-800,罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70,维持泵2X-8,管路为304不锈钢. | 扩散泵KT-800,罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70,维持泵2X-15，管路为304不锈钢. |
极限真空：优于6×10-4PA |
配置防湍流装置,安全互锁设计,手动,自动可选 |
加热系统 | 发热管上加热方式，PID控制，最高350℃±1.5℃。 |
工作气体充气 | 气体质量控制仪或是手动微调充气阀 |
真空离子轰击 | 直流3KV,0.6KW棒状阴极(用于镀膜前自行对工件进行清洗)和气体离子源选配 |
蒸发源（选配） | 1.电子枪:6KW、高压4KV-10KV可调。定位扫描、三角波扫描、圆形扫描、螺旋扫描、方波扫描、正弦波、束斑聚焦性好、定位精度高、扫描再现性好。 |
2.坩埚:六穴Φ38*20坩埚或四穴Φ38*20加一穴中心弧长87的弧形坩埚（用于耗量大低熔点蒸发材料）或穴Φ48*18坩埚。 |
离子源（选配） | 1.5KVA霍两离子源:用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀,有利于提高膜层折射率、牢固度、提高膜层致辞密性、附着力。 |
镀膜控制系统（选配） | 1.晶控器:可储存1-99层自动镀膜过程,99种程序数据,精度0.5$+1A固定误差。 |
2.光控器:采用多波长的全光谱终点分析技术,通过对监控片370-870mm的透射率(或反射率)曲线分析来判定膜层,控制精度高；也可采用单波长控制,自动控制和手动控制。附加MACILEOD膜系计算软件,一体化程度高。 |
3.光控器配合晶控器能满足高精度,高重复性的镀膜要求,与上位机配合可以实现自动控制 |
4.国产光控器:波长330-870可调，精度可达到±1.5NM。
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