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公司名称:安昂五金机电有限公司
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ABBA直线导轨LM直线轨道的安装
(1)在安装前务必除掉被安装机械安装面上的毛刺、打击伤痕及污物。
注)因LM直线导轨上涂有防锈油,安装前请用洗净油洗净后再安装。防锈油除掉后的基准面容易生锈,推荐涂抹粘度低的主轴用润滑油。
(2)将LM轨道轻轻地安放在床身上后,轻轻地拧紧装配螺栓使LM轨道与安装面轻轻地靠紧。(床身的基准面要与LM轨道有标记线的一侧对上。)
注)应先行清净固定LM轨道的装配螺栓。当将螺栓放入LM轨道的安装孔时,检查螺栓孔是否错位。强制将螺栓拧紧进一个错位的孔会影响其精度。
(3)按顺序将LM轨道的止动螺丝拧紧,使轨道与横向安装面紧密连接。
(4)使用扭力扳手,将装配螺栓按规定的扭矩拧紧。
ABBA直线导轨LM轨道装配螺栓的拧紧顺序是,从中央位置开始向端部按顺序拧紧,这样可获得稳定的精度。
(5)其余的LM轨道也按同样的方法安装,直到全部结束。
(6)将专用盖一点一点地敲入装配螺栓孔,直到与LM轨道的上面为同一平面为止。
ABBA直线导轨LM滑块的安装
(1)将工作台慢慢地装在LM滑块上,暂时拧紧安装螺栓。
(2)通过止动螺丝将LM滑块的基准侧与工作台侧面基准面接触上,使工作台定位。340上的图1)
(3)完全拧紧基准侧和从动侧的装配螺栓,安装结束。注)装配螺栓的拧紧按图7所示,按对角线顺序进行,使工作台均匀地固定。此方法对安装LM轨道的直线度不费时间,并且不需要加工用于固定的定位销,因此,可大幅度地缩短安装时间。
直线导轨是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导轨技术、控制技术等多项技术为一体的有机综合体。在这些技术中,如果某一个方面得到改进或提高,将使THK直线导轨整体性能得到提高。如,当工件台驱动方法是采用直接驱动而不是间接驱动时,由于减少了传动链长度和传动环节中的误差传递,将使工件台的精度、速度和加速度性能都得到提高。因此应当及时引用新材料、新技术来满足工件台发展的需要。
研究光刻技术的同时,也积极开展对工件台的研究,不断研制出高精度、高速度、大行程的工件台来满足光刻技术发展的需要。在过去的几十年里,应用于光刻技术中的THK直线导轨在材料、测量技术、驱动技术、控制技术等方面有了长足的进步,使工件台朝高精度、高速度、大行程的方向发展。现列举如下:
1.材料.
工件台中所用的材料直接影响着工件台的性能,如,应尽量采用低密度、高刚度的材料,这样可以减轻系统的重量,提高整个系统的刚度,从而提高工件台的动态性能。为此,通常采用铝合金、碳化硅等密度小、杨氏模量大的材料;为了减少温度、振动等外界环境对工件台精度的影响,对工件台所在的环境要采取严格的温度控制和隔振措施;在工件台的测量系统中常用殷钢作为基座,采用零膨胀玻璃作为基准反射镜材料。近年来研究人员利用Zerodur(微晶玻璃材料的一种)的低膨胀系数和良好的加工性能,加工制作工件台中的测量部件和其他重要零件。表1-1列举了工件台中常用的几种材料的特性。
2.测量技术.
在THK直线导轨中所采用的大行程测量手段主要有光栅测量和激光干涉仪测量。
光栅测量是通过记录静光栅尺和动光栅尺相互移动产生的莫尔干涉条纹数来测量位移的。目前光栅测量的分辨率可达到纳米量级,测量精度为t 0.01 5m,测量范围为100 mrno激光干涉仪以激光在真空中的波长为长度基准,测量精度高,范围大,可实现非接触测量,测量的最大速度比光栅测量的速度大,在安装时容易消除“阿贝”误差等,这些优点使它更适合于高精度测量的场合。目前国外先进的光刻机都采用商品化的双频激光干涉仪
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ABBA直线导轨特点
定位精度高使用直线导轨作为线性导引时,由于ABBA直线导轨的摩擦方式为滚动摩擦,不仅摩擦系数降低至滑动导引的1/50,动摩擦力与静摩擦力的差距亦变得很小。因此当床台运行时,不会有打滑的现象发生,可达到μm级的定位精度。
磨耗少能长时间维持精度传统的滑动导引,无可避免的会因油腻逆流作用造成平台运动精度不良,且因运动时润滑不充分,导致运行轨道接触面的磨损,严重影响精度。而滚动导引的磨耗非常小,故机台能长时间维持精度。
适用高速运动且大幅降低机台所需驱动马力由于直线导轨移动时摩擦力非常小,只需较小动力便能让床台运行,尤其是在床台的工作方式为经常性往返运行时,更能明显降低机台电力损耗量。且因其摩擦产生的热较小,可适用于高速运行。
可同时承受上下左右方向的负荷由于直线导轨特殊的束制结构设计,可同时承受上下左右方向的负荷,不像滑动导引在平行接触面方向可承受的侧向负荷较轻,易造成机台运行精度不良。
组装容易并具互换性组装时只要铣削或研磨床台上导轨之装配面,并依建议之步骤将ABBA直线导轨、滑块分别以特定扭力固定于机台上,即能重现加工时的高精密度。传统的滑动导引,则须对运行轨道加以铲花,既费事又费时,且一旦机台精度不良,又必须再铲花一次。直线导轨具有互换性,可分别更换滑块或导轨甚至是直线导轨组,机台即可重新获得高精密度的导引。
润滑构造简单滑动导引若润滑不足,将会造成接触面金属直接摩擦损耗床台,而滑动导引要润滑充足并不容易,需要在床台适当的位置钻孔供油。直线导轨则已在滑块上装置油嘴,可直接以注油枪打入油脂,亦可换上专用油管接头连接供油油管,以自动供油机润滑。
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ABBA直线导轨的十大特点:
1.内建式免润滑系统
2.四方向等负载设计
3.运行顺畅新型钢珠循环方式
4.高钢性,四排珠45度角接触
5.世界标准规格尺寸
6.高精度,低摩擦系数,低成本维修
7.高移动速度,低噪音
8.全密封式油封
9.可互换设计
10.绿色环保产品
ABBA直线导轨的四大优点:
1.免保养,低维修,无需润滑管路系统与设备
2.使用寿命长,长期自动维持轨道表面润滑油膜保护
3.大幅度节省润油成本
4.易于维持机器清洁,无废油品外漏污染环境之虞。
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的突破与升级真正实现了国产先进数控床的国产化配套衔接使南京工艺装备制造的课题实施效果进一步得到实际的应用和验为课题成果
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