00335990:RV12 DP读数头
00343441 HS50 X轴读数头
00343442 HS50 Y轴读数头
00367768:Valve Drive, Reject Circuit, DLM2
00368075:Valve Drive, Placement Circuit, DLM2
03009269 HS60轨道马达
00324405 HS50轨道马达
00335522 HS50/HS60 MC通讯卡
00335519 HS50轴控卡
00335520 HS50轴控卡
00314849 F5 轴控卡
00320927 S20 MC卡
00329073 HS50电源卡
00345012 S23 伺服卡
00321189 S20/F4/F5悬臂转换卡
00321736 伺服卡
00337333 伺服卡
00337626 伺服卡
00330647 S23/F5头板
00348264 HS50/HS60头板
00363738 HS60真空板
00347857 HS50真空板
00335987 头前支架
00336049 头后支架
00319748:Segment SP 12
00328805:Segment SP6
00341183：气管
00354244:真空胶嘴
00320165 Z轴滑块
00345186 HS50/HS60 Y轴滑块
00349898:HS50切刀汽缸
00330930:切刀电磁阀
00350588 SP12 SLEVEE
00352957 SP6 SLEVEE
00316823 PCB-ILLUMINAT CAMERA
00351500 SP6 PLUNGER
00351498 SP12 PLUNGER
00334073 急停开关
00344974 HS50进气电磁阀
00368211 真空分配盘
03010565 X系列校正片
