U21系列减压器:
U21系列单级减压器适用于非腐蚀性、有毒气体。膜片和阀体的密封采用硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。
结构特点:
- 316L不锈钢母体
- 膜片式硬密封,泄漏率低
- 可采用面板安装和后座安装
- 压力表标准连接:1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
- 内部电解抛光
- 高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
- 使用寿命长
- 100%氦气测试
材质:
- 母体:316L
- 阀座:PCTFE*, Vespel®
- 膜片:316L
- 上盖:316
功能特性:
- 流量:Cv=0.14
- 母体泄漏率:2×10-8atm cc/sec He
- 阀座泄漏率:4×10-8atm cc/sec He
- 设计验证压力:最大额定压力的150%
- 设计爆破压力:最大额定压力的400%
工作条件:
- 最大的入口压力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
- 出口压力:0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar), 0~500 (35 bar)
- 温度:-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流道表面:
内部容积:
流量特性曲线图:
![](http://ind.gentec.com.cn/ImgUpload/editor/image/U21%E6%B5%81%E9%87%8F%E5%9B%BE1.JPG)