皓田纳米科技(上海)有限公司
———二硅化锆粉产品介绍
一、二硅化锆粉理化指标
二硅化锆粉(Details):
ZrSi2:≥99.9wt%;
APS:10μm
SSA:>21m2/g
密度:4.88g/cm3
松装密度:1.6g/cm3
形貌:球形
晶型:
颜色:灰色
备注:可根据用户要求定制不同粒度的产品。
1. 二硅化锆粉成份分析(Analysis)
化学成分 ZrSi2 Fe Ca Mg Cu Mn Na Co
检测结果Wt% 99.9 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001
化学成分 Zn Ni Pb K N C S O
检测结果Wt% 0.001 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.06
2. 二硅化锆粉电镜(EM)
图2 二硅化锆粉扫描电镜
3.二硅化锆粉的X射线衍射
图3 二硅化锆粉XRD图谱
4. 制备方法:激光诱导化学气相沉积法(LICVD)
该方法是将原料置于真空或惰性气体保护的反应室中,原料表面经激光照射后,与入射的激光束相作用,原料吸收高能量激光束后迅速升温、蒸发形成气态,气态物质可直接冷凝沉积形成纳米微粒,气态物质也可在激光作用下分解后再形成纳米微粒。若反应室中有反应气体,则蒸发物可与反应气体发生化学反应,经过成核生长、冷凝后得到化合物的纳米粉体。整个过程基本上还是一个热化学反应和核生长的过程,该反应的特点是加热速率快,高温驻留时间短,迅速冷却,可以获得均匀超细粉体。
二、应用方向
1、主要可用作精细陶瓷原料粉,用于生产半导体薄膜生产用坩埚。
三、贮存条件
本品应密封保存于干燥、阴凉的环境中,不宜长久暴露于空气中,防受潮发生团聚,影响分散性能和使用效果,另应避免重压,勿与氧化剂接触,按照普通货物运输。