１）配有清洗冷却功能，进行温度控制（温度异常时装置停止）

２）液面计使用纤维传感器，放大器放在配电柜及中转箱里，箱内进行空气净化

　　　　３）循环泵全部配有安全防爆装置

　　　　４）槽、过滤器、管道系统装有地线

　　　　５）槽的开口部装在局部排気处

　　　　６）自动阀全部使用气阀

　　　　真空蒸气清洗干燥槽

　　　　１）液封式真空泵、加压泵、抽清洗液泵全部配有安全防爆装置

　２）液面计使用纤维传感器，放大器放在中转箱里，箱内进行空气净化

　　　　３）真空泵使用安全性高液封式真空泵

　　　　４）真空排気时的气体通过冷却了洗浄液沸腾、使气体浓度下降

　　　　５）槽、管道系统装有地线

　　　　６）阀门进行连锁，蒸气如果不达到规定的真空度，阀门就打不开

　　　　７）自动阀全部使用气阀

　　　　８）槽、管道系统的高温部位进行隔热处理