法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油 A120 A119
A200 A113
规格 1L 5L 20L
法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油 A120 A119
A200 A113
规格 1L 5L 20L
法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油 A120 A119
A200 A113
规格 1L 5L 20L
法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油 A120 A119
A200 A113
规格 1L 5L 20L
英国爱德华BOCEDWARDS真空泵专用油 UL15 UL19 UL70
UL20
规格 1L 4L 20L
德国莱宝LEYBOLD真空泵专用油 N62 GS77
GS32 N62H LVO100 LVO130 LVO110 VLO120 LVO210 LVO240
LVO260
规格1L 5L 20L
德国普旭BUSCH真空泵专用油 VM100
300SD VM32 VM68
规格 1L 5L 20L
德国里其乐/伟力RIETSCHLE真空泵专用油 MULTI-LUBE100 MULTI-LUBE46
合成油 SUPER-LUBE100
规格1L 5L 20L
爱发科ULVAC真空泵油 ULVoilR-7
ULVoilR-4 SMR-100
规格 1L 5L 20L
法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油 A120 A119
A200
规格 1L 5L 20L
贝克BECKER真空泵油 F O-100
LUBE-M100
规格 1L 5L 20L
半导体工业在硅片加工过程中，必须使用真空泵。真空泵油通常有两种：
碳氢化合物油(Hydrocarbon)与全氟聚醚油(PFPE)。碳氢化合物油极易燃烧，化学结构不稳定，容易降解，使得润滑性能容易降低，从而导致真空泵出现故障。尤其因频繁地更换真空泵油，包括停机维修时间的增加，而影响生产效率。而且，碳氢化合物油的可燃性也导致安全隐患，频繁更换真空泵油，存在大量的废弃物，对于环保方面是非常不利的。总之，许多方面均会导致运行成本的上升。
上海宁宝实业发展有限公司
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。图
25示出了分辨本领的两种定义
(△
M/0.1h和△
M/0.5h)。
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