主要性能: 

·漏率:1.3X1O-9pa.M3/S;

.压力范围:1.3*10-5~3 X 105Pa;

·工作温度:-30°C~+150°C;

·安装位置:任意:

·寿命:>10万次:

·工作介质：空气，非腐蚀性气体