何谓XXY故名思义就是有两个X方向的轴向，搭配一个Y方向轴向，剩余一轴采自由轴，所以也有人称XYY或是日本常用的名称UVW，它的出现用来取代某些传统XYθ的应用，但不管名称为何，三轴对位是近年来发展高精密对位的趋势。

通过对位机构的专利，每个轴向皆是一组XYθ模块的缩小版，并积极研发各式平台，更通过薄型大平台对位专利，进行各式平台轻薄化设计，在调校下对位精密上最高可达1μm。

XXY是由两个X方向轴向，搭配一个Y方向轴向，剩余一轴采用自由轴，它的出现用来取代某些传统的XYθ的应用。

XXY特色

薄--不同于传统的XYθ,少了DD马达的厚度与成本，整体高度有效降低，进而减轻本身重量，增加机台空间的利用率。

准--搭配瑞士进口高刚性高精度V型轨，平台经过精细加工，每个机构环节皆经过严密测试，结构经过调校，搭配影像对位软体，整体最高精度达1μm.（研究单位另议）

稳--在每个环节，包括组成平台的机件，马达驱动器，线性螺杆等，皆是经过长时间累积经验，反复修正，用最佳加工方法和高稳定度的机构组件，达到平台最稳定的状态。

适用于：精密产业设备，半导体设备，Wafe对位设备，

               PCB曝光设备，面板贴合机，晶粒印刷版设备。