■   本装置最主要的功能是产生兆声。使水分子以105G的加速度振动,去除物体表面小于0.2μm的微小颗粒。

■   Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其他玻璃面罩的清洗.

■   硬盘清洗、平板玻璃、半导体组件、薄膜磁头等脆性材料等的超精密清洗.

■   采用兆声清洗法可以减少化学品和提高纯水的用量,在不破坏晶圆表面特征的前提下,提高对亚微细颗粒及各种污染物的去除能力及生产效率.

主要配置：

1、内槽尺寸：L305×W255×H205mm即12″×10″×8″

2、设备外形尺寸：L485*W385*H450mm

3、槽体结构：内槽采用SUS316 T2.0不锈钢板制作加工,圆角处理. 内槽与液体接触部分均镜面抛光处理.

4、整体：支架采用38*38*T1.5不锈钢方通焊接制作，外包板SUS304 T1.0

5、加热：槽体附铝合金加热板，加热板功率1.5KW.

6、温控：日本欧姆龙温控器,室温-100℃可调.

7、兆声波：

     1）  ELITESONIC品牌订制晶片,晶片频率为1MHz,总功率600W，晶片尺寸与日本同类产品同规格.

     2）  内槽与液体接触部分均镜面抛光处理。

     3）  专用胶水粘结工艺 unctuat ? > ?? ?? Fragment-->

8、兆声波发生器：

    1)   配发生器1台,电源220V 6A。

    2)   尺寸：320ｘ520ｘ185

    3)   重量：5kg

    4)   只采用日本电路同型号IC及大功率器件,精英超声自主知识产权.

    5)   可以在20-100%范围内调节输出功率

    6)   功率显示(通过七段LED指示灯来显示功率状态,两段红色LED指示过载)

    7)   定量电流恒功率驱动,用来驱动调节器,防止出现不同的载荷量确保清洗槽内兆声功率分布均匀

    8)   可外接远程控制系统,遥控操作工艺流程

    9)   过热安全保护系统

    10) 过流安全保护系统

    11)  频率上下限的警报功能（提供上下限警报的输出指示灯）

    12)  锁相环路频率自动跟踪（在不同的温度、载荷和液面高度的情况下,使功率输出最优化）